捷报频传苏州纳米城MEMS中试平台连续月

据麦姆斯咨询报道，苏州纳米城MEMS中试平台（苏州微纳）再次传来好消息，继11月月产破千片（6英寸晶圆）后，12月产量再创新高！截至发稿，当月产量已经超过1400片，成为近年来国内成长最快的MEMS批量加工平台。

2017年对苏州微纳来说是个丰收年，捷报频出！先是年初实现量产，经过不懈努力，产量爬坡迅速，11月即实现月产量突破千片，全年产值、产量均较2016年实现翻番，并于2017年9月被授予“苏州名牌”称号。

苏州纳米城MEMS中试平台外景

随着万物互联的数字化智能时代脚步临近，以为核心的感知层是整个物联的基础，市场需求呈现爆发式增长。MEMS传感器因高精度并行制造具有能耗低，可批量生产的特点，使其不断升温成为热门产业。然而，国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统和MEMS芯片鲜有出现，导致市场存在着巨大的供需矛盾，大部分需求只能依赖于进口。

国内MEMS产业最薄弱的环节在生产制造，产品从实验室走向市场化过程中，研发与批量化之间缺乏衔接。为此，苏州纳米城早在成立之初就建成了国内首个全开放、市场化运作的MEMS加工平台，填补了产品概念验证与规模代工厂之间的中试空白。平台完全按照代工厂（Foundry）模式建立，体系化管理，从根本上解决了中小MEMS设计企业产品化上的最大难题。

苏州MEMS中试平台部分MEMS工艺设备

经过近4年的深耕，平台具备了完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力。截止目前，业务覆盖华东、华北、西南、华南，服务客户近 0家，累计支撑客户完成近百款MEMS芯片的开发生产，涉足领域广泛。不仅有市场化程度很高的消费类及汽车电子产品，例如硅麦克风、压力传感器、气压传感器、温度传感器、流量计等，也有代表前沿技术或是具备市场增长潜力的工业类及通讯类产品，例如MEMS微镜、喷墨头、非制冷红外探测器、气体传感器、RF（射频）MEMS器件等。同时，平台还在较短时间内实现了多款硅麦克风及微镜项目的量产，助力客户将产品快速打入市场的同时，也为平台的良好发展奠定了基础。